Комплектующих для оборудования кристального производства: Лот 1 – PM-P-SH Газовый душ – 1 шт. Лот 2 – PM-P-DS Экран верхнего электрода – 1 шт. Лот 3 – PM-P-HT-T Верхний нагреватель – 1 шт. Лот 4 – TM-M010-T30-016-06 Захват (end-effector) для манипулятора робота под пластины 6” – 1 шт. Лот 5 – TTL-BR-BELT Комплект ремня привода манипулятора робота (2 штуки в КОМПЛЕКТЕ) 1 – 1 шт. Лот 6 - PM-P-BT-T1 Термопары нижнего и верхнего нагревателя – 2 шт. Лот 7 – TM-P-SK Комплект уплотнительных колец для транспортного модуля – 1 шт. Лот 8 – PM-P-SK-BT Комплект уплотнительных колец для нижний части процессной камеры – 1 шт. Лот 9 - PM-P-SK-T Комплект уплотнительных колец для верхней части процессной камеры – 1 шт. (Комплектующих для оборудования кристального производства)