Тендер: Выполнение работ по разработке дизайн-проекта, изготовление и поставка микроклиматической камеры (МКК) для зоны основного прибора установки электронно-лучевой литографии и базовых технологических процессов формирования на фотошаблоне топологических элементов ИС с проектными нормами 150 нм и прямого экспонирования полупроводниковых пластин. (МКК) в Москве – Точка Закупки