Комплектующие для блока автоматического контроля тестовых структур, входящего в состав стенда анализа фоторезистивных масок и полупроводниковых структур, входящего в состав стенда инженерно-исследовательского для исследования и отработки базового технологического процесса (БТП). (Комплектующие для блока автоматического контроля тестовых структур, входящего в состав стенда анализа фоторезистивных масок и полупроводниковых структур, входящего в состав стенда инженерно-исследовательского, №322 от 26.02.2026)