Открытый запрос предложений с правом заключения договора на оказание услуг по «Измерению параметров исходных чистых пластин (prime wafer), пластин с осажденными диэлектрическими слоями и проведения процесса травления субатмосферного оксида кремния на пластинах 200мм.» для нужд АО «НИИМЭ»