Открытый запрос предложений с правом заключения договора на выполнение составной части научно-исследовательской работы «Технологическое опробование фоторезистов и антиотражающих покрытий для использования в процессе фотолитографии с длинной волны актиничного лазерного излучения 248 нм (KrF) в виде пленки», шифр «Фотолиз-О»