Тендер: Открытый запрос предложений с правом заключения договора на математическое моделирование процесса ПХТ структуры SiN-SiO2-Si для формирования мелко-щелевой изоляции на пластинах диаметром 300мм в технологии 28нм для ОКР «Кластер ПХТ 65» – Точка Закупки